国家/地区 韩国(11) 美国(11) 世界知识产权组织(7) 中国(6) 台湾(5) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 印度(2) 墨西哥(2) 俄罗斯(2)
IPC部 C(20) H(14) B(12)
IPC大类 C23(20) H01(14) C01(12)
B32(7) B82(6) B05(5)
C03(3) C30(3) B44(2)
IPC小类 C23C(20)
IPC C23C016/26(10) C01B031/02(8) C01B031/04(8)
H01L021/205(6) B82B003/00(4) B82Y030/00(4)
H01L021/02(4) B05D005/12(3) B32B009/00(3)
B82Y040/00(3) C23C014/06(3) C23C014/24(3)
C30B029/02(3) H01B001/04(3) H01L021/20(3)
发明人 VEERASAMY V(2) VEERASAMY V S(2)
公开年 2011(9) 2010(8) 2009(3)
申请年 2009(20)
专利权人 GUARDIAN GLA.(2) GUARDIAN IND(2) GUARDIAN IND.(2) SNU R DB FOU.(2)